 今回の実証実験の内容と実証結果は以下のとおりです。 |
| （１）温湿度環境維持の確認 |
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クリーンルームでは、一般のビル空調と比べて要求される温湿度範囲は狭いが、今回、水和物スラリを用いて、従来の冷水と同様の温湿度環境を維持できることを実証しました。 |
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| （２）冷熱輸送動力の確認 |
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理論上、熱輸送媒体の流量が1/2となった場合、輸送動力は流量の3乗に比例して1/8になります。本システムでは潜熱輸送媒体の粘性の増加分があるので、実プラントの輸送動力低減は冷水輸送と比べて約75％と推定しています。本実験においても、同等の低減効果を確認することができました。 |
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| （３）顕熱コイルの熱交換特性の向上 |
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半導体工場用クリーンルームでは、クリーンルーム内に設置された半導体製造装置からの発熱により温度上昇した空気を冷却するために、顕熱コイルが設置されています。一般のビル空調で使用されている熱交換器とは異なり、空気中の湿分を除去させないように、入口温度を11℃と高くしているのが特徴です。こうした顕熱コイルを使用して、熱密度が冷水の2倍の水和物スラリを用いた場合、冷水の1／2の流量でも顕熱コイルの冷却能力は、冷水と同等以上得られることを実証しました。 |
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| （４）水和物スラリの安定供給 |
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水和物スラリ製造装置をクリーンルームに組み込み、従来の冷水（往き11℃/戻り16℃）に比べ2倍以上の熱密度42～60MJ/ｍ3（10～14Mcal/ｍ3）の水和物スラリの安定供給を実証しました。 |
